民生證券-精測電子-300567-新品發布事件點評：明場檢測設備領域取得重大進展，再次填補國內空白-220312

　　事件：據精測電子公眾號報道，孫公司上海精積微于3月11日發布明場檢測BFI100型設備，并已于當周”斬獲”2臺該型號設備訂單。http://www.hokkaido-lovers.com【慧博投研資訊】該型號設備主要用于65nm-180nm的半導體產線制程監控。http://www.hokkaido-lovers.com（慧博投研資訊）首臺設備將于今年10月出機。

　　僅三個月再獲重大突破，填補國內空白。此次BFI100型明場檢測設備原型機經過兩輪客戶樣品測試，檢測得到的缺陷使用上海精測半導體自主研發的eViewTM1000型Review SEM設備進行了一一復查核實，檢測準確性得到了客戶的高度認可。去年12月公司在膜厚檢測、電子束檢測、OCD等半導體檢測領域取得進展，此次在明場檢測領域再次取得突破，填補國內空白，表明公司經過幾年高強度投入，已經進入成果轉化期。

　　明場檢測設備“小光刻機”，打破國外壟斷。明場檢測設備屬于缺陷檢測類設備，一般用于有圖形晶圓的缺陷檢測，通過高質量的光學成像檢測尺寸遠小于光學衍射極限的缺陷，對光學鏡頭加工與安裝精度、運動控制精度、照明光源亮度、抑制圖像采集噪聲、數據處理能力等都有極高的要求，往往接近同等工藝節點光刻機的苛刻技術要求。作為半導體前道檢測必備的主設備，明場檢測的核心技術一直被國外幾家公司壟斷，此次BFI100為國內首個量產型號的明場檢測設備，將有助于客戶在該領域獲得更高性價比的設備選型與應用服務。

　　晶圓檢測設備是第四大類半導體設備，國產替代勢在必行。根據Semi于2021年12月14日發布的年終報告數據，2021年半導體設備總銷售額將達到1030億美元，其中半導體測試設備市場規模增長29.6%至78億美元。2020國內半導體設備市場占全球市場規模26.3%，假設2021年這一比例保持不變，預計當年國內半導體測試設備市場規模為20.5億美元，約為130.5億元人民幣，僅次于刻蝕、光刻、CVD設備，是價值量第四大的半導體設備。晶圓檢測設備是“一超多強”競爭格局，美國KLATencor占據全球52%以上市場份額，是半導體設備國產替代不可回避的障礙，公司連續突破關鍵設備，有望擔綱國產替代重任。

　　投資建議：公司作為國內稀缺的檢測設備企業，是半導體設備國產化的主力軍，有望率先受益國內晶圓線建設浪潮。此外，公司顯示面板檢測設備、鋰電設備也在高速增長中。預計公司21/22/23年凈利潤2.19億、3.72億、5.73億，對應P/E為60x、35x、23x，考慮到公司在半導體檢測領域的稀缺性，維持“推薦”評級。

　　風險提示：研發不及預期風險，下游需求不及預期風險，宏觀經濟波動風險。